SEMOZON®
SEMOZON® Ozongenerator
Alle unsere SEMOZON® Ozongeneratoren wurden mit ihrer besonders hohen Ausgangskonzentration von bis zu mehr als 300 g/Nm3 O3 und ihrem Design für geringste Partikelerzeugung speziell für den Einsatz in der Halbleiterfertigung entworfen.
Die hier aufgelisteten Geräte können in ihrer Ausgangsleistung gesteuert werden, beinhalten aber keine interne Regelung. Als Minimalausstattung sind vom Anwender Armaturen zur Kontrolle des Gasflusses und des Betriebsdruckes bereitzustellen.
SEMOZON® 090.2: Gasvolumenstrom 3 bis 15 L/min, Konzentration 250 - 120 g/m3. O3-Nennproduktion 90g/h bei 10 L/min. Datenblatt
SEMOZON® Systeme
Die Systeme erweitern einen SEMOZON® Ozongenerator durch Mess- und Regelmöglichkeiten.
Ozon Control Units (OCU) erweitern in verschiedenen Versionen einen SEMOZON® 090.2 Generator um Messmöglichkeiten und Regelkreise (Fluss und Konzentration). Bitte fragen Sie nach genaueren Spezifikationen.
Bitte wenden Sie sich bei weiteren Fragen an unsere Vertriebsmitarbeiter.
MKS: Power and Reactive Gas, Flow Measurement and Control, Pressure Measurement and Control, Gas Analysis, Control Information and Technology, Vacuum Technology, Leak Detection, Calibration, Integrated Subsystems, Ionization/Static Control, Medical Electronics, Biopharmaceutical