Die LIQUOZON® Familie:
- Systeme zur Erzeugung von in Wasser gelöstem Ozon -
Die LIQUOZON® Systeme von MKS stellen eine hochreine Quelle für in Wasser gelöstes Ozon dar (DIO3), wie sie typischerweise in der Halbleiterfertigung für verschiedene Prozesse wie Reinigung, Photoresist-Stripping oder Oberflächenpassivierung eingesetzt wird.
Alle LIQUOZON® Systeme liefern DIO3 mit einer stabil geregelten Ozonkonzentration bei einem konstanten Druck. Sie zeichnen sich durch eine hohe Leistung, gute Regelgenauigkeit, einfache Handhabung via Touchscreen Display, sowie den hohen Anforderungen der Halbleiterherstellung entsprechende Reinheit und Zuverlässigkeit aus. Als Stand-alone Geräte benötigen sie für den Betrieb nur eine minimale äußere Beschaltung.
Die Materialien und die eingesetzte Dopingtechnik wurde für den hochreinen Betrieb in der Halbleiterfertigung und bei Flat Panel Anwendungen ausgewählt.
Alle LIQUOZON® Geräte entsprechen den Anforderungen des SEMI S2 Sicherheitsstandards und tragen das CE Zeichen.
Derzeit sind 4 Basisversionen verfügbar, mit jeweils unterschiedlich ausgestatteten Modellvarianten:
LIQUOZON® Single - das besonders kompakte DIO3 System
Der LIQUOZON Single wurde als besonders kompaktes Gerät speziell für den Einsatz in Single Wafer Tools entworfen, deckt aber auch viele Badprozesse ab.
Das System stellt je nach Version DIO3 mit Konzentrationen zwischen 5 und 55 ppm zur Verfügung, bei Flussraten zwischen 0,5 und 20 L/min.
Der LIQUOZON Single integriert in einem Gehäuse mit den Abmessungen von 40 x 50 x 120 cm alle notwendigen Komponenten zur Ozonerzeugung, und erreicht damit eine einzigartige Leistungsdichte mit unübertroffen kleinem Footprint.
Datenblatt (PDF, englisch, 453 kb)
LIQUOZON® Smart - die vielseitige Lösung
Das LIQUOZON Smart System ist in vielen verschiedenen Konfigurationen verfügbar:
Die eingebauten Ozongasgeneratoren können den Bedürfnissen des Kunden entsprechend gewählt werden, und es ist jeweils eine XF Variante für besonders hohe Flüsse bis 50 L/min verfügbar.
Eine Besonderheit des LIQUOZON Smart ist die Möglichkeit, an bis zu drei DIO3 Ausgängen unterschiedliche Ozonkonzentrationen simultan bereitzustellen.
Die Basiskonfiguration des LIQUOZON Smart liefert einen Fluß bis 25 L/min, mit der High-Flow Option werden bis zu 50 L/min erreicht. Die maximale Konzentration an gelöstem Ozon beträgt 80 ppm.
Datenblatt (PDF, englisch, 331 kb)
LIQUOZON® LoopO3 - das kompakte Rezirkulationssystem
Das LIQUOZON® LoopO3 System ist die kleinste verfügbare DIO3 Quelle mit einer Rezirkulationspumpe für Naßreinigungsprozesse.
Die neue kompakte LoopO3 Serie wurde speziell für niedrige Flüsse mit Ozonkonzentrationen bis 62 ppm entworfen, typische Anwendungen sind die Waferreinigung, Oberflächenkonditionierung, Entfernung von Water Marks und Oxidwachstum. Durch die Kreislaufführung mit integrierter Rezirkulationspumpe kann der Wasserverbrauch in Prozesspausen auf Null reduziert werden, und die Konzentrationsregelung wird weiter optimiert.
Datenblatt (PDF, englisch, 453 kb)
LIQUOZON® 100 & XF - die stärkste Lösung
Die beiden Modelle LIQUOZON 100 und XF sind seit Jahren bewährt im Einsatz. Sie stellen die leistungsfähigsten DIO3 Quellen dar, mit Flüssen beim LIQUOZON XF bis 60 L/min, und max. Konzentrationen von über 90 ppm.
Datenblatt (PDF, englisch, 502 kb)
MKS: Power and Reactive Gas, Flow Measurement and Control, Pressure Measurement and Control, Gas Analysis, Control Information and Technology, Vacuum Technology, Leak Detection, Calibration, Integrated Subsystems, Ionization/Static Control, Medical Electronics, Biopharmaceutical